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自动配气系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制，配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气体。标准气体配气的方法包括称重法、分压法、静态容量法、流量比混合法、渗透法、扩散法、体积比法等。该自动配气系统采用流量比混合法，是一种动态配气法，通过严格控制一定比例的组份气体，并加以混合而制定标准气体。与瓶装标准气相比，使用该方法能够在同一配气系统上，可以配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气，配制的目标组分标准气体浓度可达10-9级且连续可调；可稀释范围宽，可以达到1/2000；系统不受环境温度与压力变化影 , 可以适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体，甚至包括爆炸性气体 毒性气体，具有很好的应用价值；采用气体质量流量计控制每一路所需的原料气体的流量，可以控制配制目标组分标准气体的总流量，实现连续配制并供给目标组分标准气体，使用方便、灵敏度高、精度高。
传感器特点
使用方便
灵敏度高
精度高
主要应用
适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体，甚至包括爆炸性气体 毒性气体，具有很好的应用价值
技术指标
| 流量规格（N2） | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM |
| 准确度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 工作压差范围 | 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM |
| 0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM | |
| 温度系数 | 零点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃ |
| 耐压 | 3MPa ≤2sec |
| 漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
| 密封材料 | 氟橡胶; 金属密封 |
| 工作环境温度 | (5~45) ℃ |
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