Verifire™ ATZ激光干涉仪

Ring of Fire™点光源是Verifire™ AT激光干涉仪获取清洁图像的基础，传统的激光干涉仪用的是相干点光源，在测试腔中形成相干光。但是，点光源在光路中遇到细小颗粒时同时也会产生寄生的干涉条纹（牛眼环）。的Ring of Fire™光源系统是只对光学腔产生干涉，而将干涉腔外的细小颗粒产生的干涉条纹遏制，整个干涉仪的性能得到增强，所测量的性能得到增强，所测量的结果更令人信服。

高精度的光学元件和光学系统需要高性能的测量技术和方法，不仅需要具备高速操作简单和长期稳定的检测设备和方法，同时更需要更高精度产品检测的需求。ZYGO Verifire™激光干涉仪做开创的Ring of Fire™光源技术，消除了长期困扰的“牛眼环"所带来的测量上的影响，将测量精度提高到一个新的台阶，同时配备ZYGO自主开发的Metropro软件，以及与传统激光干涉仪互配的各种附件，真正使Verifire™激光干涉仪在高速、简易和稳定基础上达到新的高度。可以说，ZYGO Verifire™激光干涉仪不仅是新一代的激光干涉仪，更是一次新的干涉测量技术的ge命。