Verifire™ Asphere™非球面检测激光干涉仪 - ZYGO技术的上乘结合
快速，非接触，高精度的非球面3D测量激光干涉仪Verifire™ Asphere – 运用砖利的非接触干涉技术，在生产和质量控制中，对非球面进行高精度、定量、三维的表面形貌测量。 基于ZYGO的两个核心技术和砖利的多域测量方式，开发出的系统可以对非球面进行高精度的测量。系统中多个方向轴均为电动控制，能够实现自动调整、自动采集数据和自动进行数据分析，*后得到快速、高精度、定量的非球面面形测量。
Verifire™ Asphere系统是由Verifire™ AT斐索型激光干涉仪和ZMI510位移干涉仪组成。线性位移干涉仪的两个轴跟踪被测件沿着光轴方向的运动，并且每2.5nm扫描一次，Verifire™ AT斐索型激光干涉仪上的高分辨率1K×1K CCD使得每次扫描得到高于70万个数据点。Verifire™ AT主机如果配备Ring of Fire™扩展光源，则表现出更高精度的干涉测量能力。根据被测件的直径大小，Verifire™ Asphere系统可以配置4英寸或6英寸的Verifire™ AT索菲型激光干涉仪主机。