技术参数 |
感应方向:±X、±Y、+Z 重复定位精度(2σ):1.5μm(标准测力模块) 单向重复精度(2σ):0.35μm(标准测力模块) A轴(垂直方向):0°~90°15°/步距 B轴(水平方向):±180°15°/步距 空间位置:168个 重量:210g |
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技术参数 感应方向:±X、±Y、+Z 重复定位精度(2σ):1.5μm(标准测力模块)单向重复精度(2σ):0.35μm(标准测力模块)A轴(垂直方向):0°~90°15°/步距B轴(水平方向):±180°15°/步距空间位置:168个重量:210g
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感应方向:±X、±Y、+Z 重复定位精度(2σ):1.5μm(标准测力模块) 单向重复精度(2σ):0.35μm(标准测力模块) A轴(垂直方向):0°~90°15°/步距 B轴(水平方向):±180°15°/步距 空间位置:168个 重量:210g |
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