双面对准紫外光刻机

型号：URE-2000S/25型　

该机采用创的CCD图像底面对准技术，单曝光头正面曝光实现双面对准的总体设计技术。采用新颖的高精度、多自由度掩模—样片精密对准工件台结构设计，掩模—样片对准过程直观，套刻对准速度快、精度高。掩模板与样片的放置采用推拉式基准平板、真空吸附式，操作方便。

采用创新技术——积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明；

1、采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高；

2、具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；

3、自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm；

4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，

并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和

方便存储；

5、电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；

7、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，温度小于30度）；