产品名称

惰性气体净化系统-GPH-DHDO

产品特点

输入：输入气体纯度要求：<1000 ppm（99.9%）。

输出：清除杂质至<0.1ppm （02≤0.1 ppm H20,-76℃露点温度）。

304L不锈钢罐（<10Ra EP）。

再生操作简单方便。

内置数字温度控制器和气体流量计控制。

再生后净化多达80L惰性气体。

设备需在270℃下再生（需使用5N纯度的95%N2+5%H2气体）

电源

220V 50Hz

功率：500W（加热过程中）

较大压力输出

0.5MPa

工作温度

室温-300℃

气体泄漏率

<2×10^-9 atm cc/sec He

温度控制器

控温精度±1℃

较大气流

400ml/min

外形尺寸

445L×400W×190H mm

使用提示

您可以购买精密质子流量计，输入气体更加准确（图一）。

此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接（图二）

图一 图二

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期，终生技术支持。

特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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