GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
技术参数
名称 | 带3路浮子混气三温区1700℃管式炉--GSL-1700X-III-F3LV |
炉体结构 | 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度小于35℃。 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,较大程度减少能量损失。 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。 三个温区分别被三个独立的温控系统控制。 |
功率 | 10KW(需要75A的空气开关) |
电压 | AC 380V 50Hz |
加热区 | 总加热区长度:25"(630mm)。 加热温区1长度:7.5"(190mm)1400℃通过4根硅碳棒加热,温度可达1400℃。 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,侧参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系。 升温速率:10℃/min。 加热温区2长度:10"(250mm)1700℃通6根硅钼棒加热,温度可达1700℃。 升温和降温速度:5℃/min。 加热温区3长度:7.5"(190mm)1400℃通过4根硅碳棒加热,温度可达1400℃。 升温速率:10℃/min。 |
炉管和法兰尺寸 | 99.8%高纯刚玉管 purity A1umina tube。 (标配)(60mm)O.D×I.D(50mm)×1200mm L。 一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表。 仪器中包括4个氧化铝管堵。 |
温控系统 | 3个温控系统,都是PID 30段程序化控温。 控温仪表操作视频。 |
控温精确度 | ±1℃ |
低真空系统 | 采用TRP-12的双旋机械泵,起针对于本公司的管式炉,真空度可达到10-2 torr。 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为25mm Dia×1000mm length,可于管式炉上的法兰相连接。 |
防腐型真空计 | 其测量范围为3.8×10-5至1125 torr,不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 |
三路浮子混气系统 | 3个浮子流量计(精确度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三中不同气体。 路气体流量范围为10-100 cc/min 。 第二路气流流量范围为16-160 cc/min。 第三路气体流量范围为25-250 cc/min。 一个压力表安装在移动架上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接。 移动架上安装有4个不锈钢针阀。 |
尺寸 | 高温炉:863 L×457 W×711 H mm(34 L×18 W×28 H inch) |
质保期&质量认证 | 一年质保期(不包括炉管加热元件和密封圈) CE certified |
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