日本azbil山武CMS气体质量流量计

　　品牌：yamatake/山武(成立于1906年)

　　型号：CMS系列

　　类型：气体质量流量计

　　测量范围：2mL-2000L/min（可选）

　　精度等级：±2%RD

　　适用介质：空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/氨气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷/乙炔（不含腐蚀性成分）

　　耐压：1.5MPa

　　工作温度：-10~+60℃

　　山武CMS是一种气体质量流量计，使用了山武公司研发的微流量传感器μF单元。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比。微流量传感器芯片与的流体管路设计的结合，使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。

　　特点：

　　1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的准确测量；

　　2：实现了±2%RD的精度，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力；

　　3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能；

　　4：采用山武公司的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200一次压力49KPA）的低压力损失。