1、产品介绍
无氧烘箱通过氮气或者氩气等惰性气体替换烘箱内的空气，营造无氧环境，将氧气水平保持低至100PPM以内，以保护产品在高温条件下不被氧化。这使得该系列非常适合 MLCC 和 LTCC 脱脂，以及各类抗氧化热处理。无氧烘箱采用专有的腔室结构和密封技术，具有出色的气密性和温度均匀性。同时可以选配冷却水循环的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆（光刻胶PI, PBO固化），IC封装（铜基板，银胶，硅胶，环氧树脂），玻璃基板烘烤，高精度退火处理等。
2、产品特点
● 箱体采用全氩弧焊焊接保证了持续的箱体密封性
● 自动充氮系统
● 外部采用烤漆
● 配置不锈钢层架
● 耐高温硅橡胶门封条
● 多重保护装置（超温保护，马达保护，电器保护）
3、选配功能
● 加装HEPA高效过滤系统
● 氧气含量分析仪
● 水冷降温系统
● 定制治具
● 触摸屏集成控制
● 无纸记录仪
● 485通讯或以太网通讯
● 外部采用不锈钢材
4、产品参数
| 型号 | YH-OXY-02 | YH-OXY-2SH |
| 含氧控制 | 1%以内，500PPM，100PPM | |
| 温度范围 | Room temp. +20~200℃ | |
| 控温精度 | +/- 1.0℃ | |
| 控温均匀性 | ±2℃ （at 100℃）, ±3℃（at 150℃） | |
| 升温时间 | About 25min（Room temp.→150℃）. empty chamber | |
| 控制 | Optional for fixed temp. or program operation | |
| 内尺寸H*W*D | 910*620*620（mm） | （600*2）*720*600（mm） |
| 外尺寸H*W*D | 7150*855*1030（mm） | 1805*1340*865（mm） |
| 容量 | 350L | 260L*2 |
| 电源 | 3 phase AC380V | |
5、非标定制
● 针对封装行业，支架清洗后，进行烘干，定制门非标尺寸
● 针对IC封装，定制多门多控充氮烘箱。
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