日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测
测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
检测气体名称
砷烷 磷烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可检测小浓度
（单位：ppm）
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
尺寸
W38×H130×D30mm
深圳市安川测量仪器有限公司
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产品简介： 检测对象H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3检测浓度1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm检测原理热线型半导体式采样方式自动吸引式应用行业半导体制造
日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测
测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
检测气体名称
砷烷 磷烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可检测小浓度
（单位：ppm）
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
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应答速度
10秒以内
尺寸
W38×H130×D30mm
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