日本进口涡轮分子泵 UTMｰB系列 移动式 爱发科

冷却方式自然
风冷强制
风冷自然
风冷强制
风冷法兰尺寸入口
*1VG65、ICF114、ISO063-KVG100、ICF152、ISO100-K出口KF16KF16抽气速度
（不带
防护网）氮气70 升/秒280 升/秒他60 升/秒270 升/秒氢气49 升/秒220 升/秒极限
压力
*2烘烤后- *310 -8帕斯卡- *310 -8帕斯卡烘烤 -6帕斯卡10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡压缩率氮气：
>1×10 9，氦气：4×10 7，氢气：4×10 5氮气：
>1×10 9，氦气：7×10 6 ，氢气：1×10 5
入口压力
*4, *5, *6氮气0.43帕斯卡1.1帕斯卡0.06帕斯卡0.7帕斯卡
出口压力
*4, *5, *7氮气300帕900帕100帕1000帕连续
运行

流量*8无需
气体吹扫氮气15标准立方厘米*940标准立方厘米*910标准立方厘米*10100标准立方厘米*10无需
气体吹扫应收账-10标准立方厘米*9-30标准立方厘米*10带
气体吹扫-15标准立方厘米*9-40标准立方厘米*10推荐使用前级泵
（抽真空 10SCCM 时）
*11>60升/分钟>120升/分钟重量VG：3.3公斤, ISF：3.0公斤, ISO：5.0公斤6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤旋转速度87000转60000转启动时间（80%）
(DC24V.背压5Pa以下）1.7 分钟3.5 分钟表面处理*12没有任何安装方向自由方向噪音 *13<48分贝(声级)<50分贝(声级)控制器输入电源DC24V±5%, 120WDC24V±5%, 180W接点输入
输出信号远程（D-sub 15 针公头）
数字输入：4 点。输出：4 点。模拟输出：1 点。串行通信RS-485（D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共享）LED显示屏电源、正常、报警转变开始/停止、重置可变旋转频率/速度运行转速数
可在
泵规格的 25% 至 之间以 0.1% 的步长进行更改。异常操作
检测检测报警、警告。保护电路表示报警、警告。标准配件使用说明书(CD-R)、防护网(仅VG和ICF，
垫圈内置有ISO法兰防护网)、
垫圈(入口法兰)、防尘盖(用于入口、出口和连接器)适用标准CE、TUVus