LED-全自动高温腐蚀清洗设备
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- 设备用途：
- 图形化衬底制备工艺（Patterned Sapphire Substrates）
- 激光正切后的侧边腐蚀工艺（Sapphire Sidewall Etching）
- 设备特点：
- ★ 全自动的封闭系统，多重硬件和软件保护，人性化UI操作界面
- ★ 的兼容性：囊括了2"、4"、6"、蓝宝石衬底的制备，一次投资可适用不同产品的生产
- ★ 300℃湿法蓝宝石衬底腐蚀
- ★ 精准、稳定的工艺控制：
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达到工艺温度时间：<>
温度精度范围：+/-1℃
刻蚀的均匀性：+/-3%以内
湿法PSS均匀度可达到：+/-0.05um
- ★ IMTEC Xe系列高温腐蚀槽，近40年半导体行业石英加热槽工艺设计及生产制备的工程经验
- ★ 有效避免局部过热，确保石英槽使用寿命高达两年以上
- ★ 动态监测温度、自动配酸、自动补液及高温直排
- ★ 高产能的保证：一次可处理100片2"或50片4"
- ★ 具有的局部高温酸排风设计
- ★ 设备拥有多项技术
- ★ 的保障设备运行的可靠及安全性
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