STACIS初旨在隔离高级半导体工厂中的微光刻,计量学和检查设备,如今已成为嘈杂环境中敏感仪器的行业解决方案,包括但不限于半导体工厂,故障分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施,以及材料研究。
STACIS III包括一个经过改进的数字控制器DC-2020。借助新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口,此新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在成功安装了数百套设备,是对振动敏感的仪器的li 想隔振系统。
比空气隔离器坚固数百倍,STACIS不受空气隔离系统的限制。没有“软"悬架,并且与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,并且两个系统都经过充分优化。
的串行设计和高强度压电技术可实现
从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽,以及真正的主动隔振功能,从2 Hz开始可降低90%的振动。
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