我国在真空镀膜行业,目前更多的应用都集中在装饰方面,对能有效地提高关键部件使用寿命机械功能薄膜的制备设备、工艺及应用研究方面还远远落后于国外水平。同时,装饰镀方面也逐渐向耐磨和装饰双重功能的方向发展,之前的离子镀膜机已体现出不能满足装饰镀要求的问题。本技术的研发成功,将打破国内高性能机械功能耐磨减摩薄膜*依靠*的被动局面;对提高我国装备制造业的技术水平和真空离子镀的技术发展都是一个非常好的示范作用。另外,将制备的耐磨减摩薄膜应用于其它关键部件中,起到了非常好的节约能源和提率的示范作用,可替代部分原来电镀的工艺,对环境保护起到很好的作用。
多弧离子镀膜机的电弧蒸发源原理是通过一个冷阴自持电弧放电,是一种场致发射。蒸发源的典型的基本配置为:受镀基材与阴相接,阳接真空室,待真空室抽到到高些的真空状态、触发电启动器接触打开,形成一个稳定的电弧放电于阳和阴之间。而在阴的表面覆盖有很多快速移动的阴斑,斑直径在1μm到两微米之间,还有直径约10μm的光斑,有每秒移动几十米的速度,电流之间密度为10 A/cm-10 A/cm,间电压也降低到20V-40V之间。
所谓多弧离子镀膜机就是用多个电弧蒸发源为核心的一种离子镀膜设备,通常又叫多弧镀膜、弧镀、电弧镀膜等。相较于其他镀膜工艺,它具备的特点有:
1、机械整体简单、设备生产效率高、工作周期短、适合大批量的工业化生产。
2、较大的镀膜空间。 电弧蒸发源为固态,可灵活放置,所以工件在装卡更换时更加简单,无需附加加热器使用。
3、工艺范围广。适合在较高真空或较低环境温度(200C)下做反应镀、离子镀。
4、具备优异的膜性能。工件的轰击加热、清洁和沉积交由离化金属等离子体轰击完成,实现“一弧三用",且膜层结构致密性高,膜层与镀件牢固结合。
多弧离子镀膜机
用于金属、陶瓷、玻璃等材质表面镀制各种硬质金属膜、金属化合物膜及装饰膜。具有抽速快、真空稳定,装载量大、镀膜均匀性好的特点。广泛应用于手表、眼镜、资讯产品 模具、五金、玻璃、陶瓷、建材等行业表面处理,是镀制TP仿金、TPC、TP浅、TP咖啡色、TP玫瑰、香槟金、千邑色等膜层的理想设备。本机不污染环境,所镀膜层无毒,对人体无害,是解决水电镀厂环境污染问题,替代传统水电镀金,镀烙的理想设备。
多弧离子镀膜机的蒸发源是一种比较的冷阴电弧放电的自蒸发、自电离式的一种固体型蒸发源。
相较于传统的蒸发源,多弧离子镀膜机的电弧蒸发源的特点明显:
1、镀膜膜层致密度高,膜层寿命长、强度高;
2、作为固体型的电弧蒸发源,可改变其形状、大小及位置;
3、运行真空范围大;
4、更高的离子能量;
5、可达60%-80%的高离化率;
6、高沉积速率,如TiN,可做到100nm/s~1000nm/s的高沉积速率。
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