电控柜操作1. 开水泵、气源。2. 开总电源。3.开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4.开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5.观察涡轮分子泵读数到达250以后,关预抽,开前级泵和高真空阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。
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镀膜机日常维护:1. 镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次:都得拆开用乙醇擦洗,然后换新油。2. 镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后,次真镀以前,要手动抽真空半小时左右,以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。3. 镀膜机的蒸发工艺参数设定:从电压上来说,蒸发过程分为1.预热;2.熔融;3.蒸发3个过程;从时间上来说蒸发过程分为1.预热;2.熔融;3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说,电压的设定按照过程要逐渐增大,但是为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。(蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。4. 一般每次还完扩散泵油以及粗抽泵油后,都需对蒸发的参数进行略微的调整。5. 当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时,需要重新设置蒸发的参数。
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