基础的真空镀膜知识：1.真空:用真空泵抽掉容器中的气体,使空间内低于一个大气压的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。2.真空中残存气体的稀薄程度,就是真空程度的高低,即真空度。通常用压力表示单位（Pa）3.1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。1大气压=1.03×105Pa?4.压升率：单位时间内，真空度降低的速率。单位：Pa/h?5.真空泵的抽气简称抽速）（单位：L/S）?:当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。6.极限真空度：（单位：Pa):在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的压强

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