具有亚微米级超低速运行能力的线性平台,
恒速运行,静态精度,定位精度和高刚性,使得可以更换压电平台。
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平稳的操作和高的刚性使研究光学扫描(扫描)阶段/零件加工/检查/激光加工/生物相关设备成为可能。速度也很高,因此可以提高速度。
相关设备成为可能。速度也很高,因此可以提高速度。
规格书
行程长度 | 毫米 | 150 |
---|---|---|
舞台头 | 毫米 | 240 |
编码器分辨率 | 微米 | 1,,,,, |
重复性 | COUNT个 | ±1 |
加速度 | 米/秒2 | 15 |
速度 | 米/秒 | |
装载量 | 公斤 | 10 |
运动部件质量 | 公斤 | |
舞台总质量 | 公斤 | |
直线度/平面度* 1 | 微米 | 2/25毫米 |
原点/限位开关 | 非接触式磁簧开关 | |
原点开关位置 | 中心 | |
轴电机型号 | S080Q |
※1 ・误差(μm)/每25mm移动
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