高低温真空探针台

产品概述：

可进行真空环境下的高低温测试（~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。

高低温真空探针台

高低温真空探针台技术指标：

高低温真空探针台选型注意事项：

※需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！最小的单颗芯片尺寸！

※探针台机械精度要求多高！

※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！

※最多需要几个探针同时去点测！

※是否会用到探针卡测试！

※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少！

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！

※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低

电容要求是否要做到！是否有射频需求！

※接驳的测试仪器接口有哪些！

※测试环境时是否会需要加热或者降温！ 是否需要密闭腔体！

※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有压缩空气！