NAKAVAC可以按照客户的要求或图纸制造高品质的真空腔体。我们有能力制造各种规格的真空腔体如:基板式真空腔、球形真空腔、钟形真空腔、管状真空腔、也可按照客户要求量身定做真空腔体。 NAKAVAC具有熟练的加工、焊接高真空和超高真空腔体用材料的能力,如 304、304L、316、316 L、316 LN、410、416,无氧铜,钛,铝,钼,钼合金。不论是真空镀膜或是表面分析等作业都需要在真空腔体内完成,真空腔体的品质亦为真空设备性能好坏之关键因素之一。NAKAVAC具有制造各式客制化真空腔体的经验,可以根据客户不同的需求来设计和制造,例如大学实验室的表面分析用超高真空系统(UHV system),真空度要求达到10-10torr,薄膜太阳能电池的特殊制程腔体,基板温度须达到600℃,真空腔体的冷却设计就非常重要,真空腔体常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等,形状有矩形、圆筒型和多边形,表面处理有喷砂、抛光、电解抛光等,另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除,NAKAVAC亦具有真空系统组装能力,可以将真空腔体设计制造的服务延伸至真空模组或真空系统整合,为客户提供了更完整的真空制程解决方案。
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