去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。

去离子水定义为：“去离子水或不地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。"现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。

在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水"或是“18兆欧水"。

去离子水制取工艺及其特点

1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。

（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低）

2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为：

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中）

3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取

蒸馏水（zhēng liú shuǐ )，是指用蒸馏方法制备的纯水，可分一次和多次蒸馏水。蒸馏水经过第二次蒸馏，可得重蒸馏水，它的纯度更高。蒸馏需要耗费大量的能量，现在实验室和工业上广泛采用离子交换法获取纯水。这种水又叫去离子水。