电控三维位移台3D/4D-stage是为激光光学安装固定设计的电控XYZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。
电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成XYZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。
图1:电控三维位移台实物图3D-stage
三个XYZ三维线性位移台采用闭环直流伺服电机,交叉滚筒轴承,高精度丝杆和高分辨率定位反馈编码器控制,从而保证了位移台平滑和的运动。与其它工作台一样,这些电控三维位移台可以极慢的速度均匀移动,电控三维位移台提供各种速度/精度选项,也可订制3D/4D位移台系统,通常通过一个适配板把各个位移台组装在一起。
电控三维位移台可以使用各种各样的控制器,这些控制器和工作台可以相互兼容,推荐使用自由的MS2000位移控制器,可自动纠偏,并可通过RS-232或USB连接与上机位进行通讯。
电控三维位移台参数
技术参数 | 尺寸 |
编码器分辨率* | nm |
线性编码器 | 10 nm |
RMS重复精度(典型) | < μm |
采用线性编码器重复精度(典型) | 200 nm |
丝杆精度 | μm/mm |
采用线性编码器后的丝杠精度 | ± 3 μm/length scale |
速度* | mm/sec |
行程范围 | 25~100mm |
*注:采用 mm螺距的丝杠(16TPL)
电控三维位移台丝杠附件
丝杆螺距选择 | 旋转编码器分辨率 | 速度 |
mm (极粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
mm (标准) | 22 nm | 7 mm/sec |
mm (细) | nm | mm/sec |
mm (极细) | nm | mm/sec |
注:采用旋转编码器和毫米螺距丝杆
图2:电动四维位移台4D-stage俯视图(由XYZ三维位移台+旋转台构成)
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