等离子体主动热探头是耐高温的等离子探头,用于高温等离子体过程中流入到目标表面的能量,也可作为离子流探头使用.由于等离子体主动热探头的灵敏度非常高,特别适合用于工业生产过程或研究中的有效质量控制.有一个特殊的版本,该版本有一个更多可选的可调参数,可以用来解决等离子体工艺的研发。
等离子体主动热探头特点
在生产高品质涂层或研究材料属性过程中，对等离子体工艺的表征，控制和监测是至关重要的。
最重要的一个参数是通到基底的实际能量流入和总能量流入—主动热探头是测量这个决定性的量数的工具。
增殖的粒子影响基底的表面工艺和反应。
这种能量与其他如热辐射能或化学能合成总流入能量。
主动热探头连续定向测量流入的能量，保持层和表面性质很好的相关性。
等离子体主动热探头产品概述
适用于真空
耐温高达450°C
能量流入可多达（2±0，001）W/cm2 可衡量
可变长度和几何图形
包括系统控制和的软件包
提供安装服务和流程优化咨询
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