这款手动型分析探针台广泛用作晶圆探针台和RF探针台,性价比高,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件测试和晶圆探针台测试应用。
手动型分析探针台特色
手动操作样品台，行程范围100mm x 100mm
加载或卸载晶圆非常方便
传统的粗调和微调台板设计,范围, 25mm或40mm可选
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数~180X
带有相机接口
两侧带有连接接口,适合连接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
手动型分析探针台规格参数
适合晶圆大小：100mm
手动XY位移台： 行程范围100mm x 100mm， 分辨率5um
台板行程： 或更大，
台板调整：带有粗调和微调功能,重复精度+/-
台板平面度 lt;+/- @150mm长度
台板刚度： <5um @
样品夹盘规格
真空：多区真空
平面度：+/-13um
击穿电压：500V
隔离度：1G欧姆
调整：360度粗调， +/-6度微调
显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围~180X
电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台）
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重：85kg ~95kg (根据所选不同配件）
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