这套激光微加工平台特别为飞秒激光微加工定位和飞秒激光微加工位移应用设计设计的纳米级激光微加工平台和激光微加工位移台，广泛适合主流的飞秒激光器和皮秒激光器，全面满足科学家和工程师自我搭建激光微加工系统的要求, 已经在美国和欧洲被科学家和激光微纳设备制造商广泛采购使用。
这套激光微加工平台采用微加工领域主流的花岗岩架构，有效滤除振动对微加工的影响，确保激光光束相对样品表面保持的稳定。
激光微加工平台采用罕见的纳米位移平台为样品提供定位，保持了的定位精度，可靠性和重复性。
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激光微加工平台参数：
行程范围：375mm x 200mm x 25(50)mm x360° x360°
分辨率：X,Y,Z=50nm, θz/x = sec
精度： X,Y,Z =+/-1um， θz/x =10arc sec
重复精度：X,Y,Z =， θz/x =3arc sec
正交性：X-Y-Z =3arc sec, θz-θx =10arc sec
加速度：1G
行进速度：500mm/sec
稳定性：1nm
飞秒激光微加工平台控制器部分
电压：220VAC 专业为中国电力状况而设计
电源：5/10Amp
五轴控制能力
接口：网线或USB
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