ESC静电卡盘用于晶圆蚀刻
静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在 输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿
TANISS产品展示
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。