步进投影光刻机
技术指标：
曝光场面积：20mm×20mm
分辨力：2μm；
照明不均匀性：±2%
物镜倍率：2.5倍(缩小)
光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）
基片尺寸：4 英寸
工件台运动范围：X：>150mm、 Y：>150mm；
工件台运动定位精度：±0.65μm
调焦台运动灵敏度：1μm
对准精度：±0.5μm
调焦台运动行程：5mm
检焦：CCD检测，检测精度0.5微米
转动台行程：±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm