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当前位置:上海磊微科学仪器有限公司>>批量生产型>> PICOSUN™P-300BV

PICOSUN™P-300BV

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:冻干粉
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2024-02-03 11:05:44
  • 浏览次数:50
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上海磊微科学仪器有限公司

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  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:28条
  • 所在地区:
  • 注册时间:2024-02-03
  • 最近登录:2024-02-03
  • 联系人:殷经理
产品简介

PICOSUN™P-300BV PICOSUN™P-300BV型原子层沉积系统是一款批量生产型设备, 用于加工LED、分立器件以及MEMS器件,例如:打印读头、传感器、麦克风等。

详情介绍

PICOSUN™ P-300系统已经成为高产能ALD制 造业的新标准。拥有的热壁、独立的 前驱体管路和特殊的载气设计, 确保我们可  以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和  的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。  高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷, 限度的减少了系统的维护停工期和使用成  本。拥有技术的Picoflow™使得在超高深 宽比结构上沉积保形性薄膜更高效, 并已在  生产线上得到验证。

PICOSUN™ P-300BV系统代表了的工业 化ALD工艺水平。这个系统是为半自动化的批 量生产而设计。设备本身针对快速批量生产  进行了优化,并允许通过SECS/GEM整合到自 动化生产线上。拥有加热选项的真空加载系 统可以对敏感的基底进行洁净加工并沉积金 属氮化物薄膜。

PICOSUN™ P-300BV是创新驱动行业的 ALD系统!


衬底尺寸和类型

•   200mm晶圆 25片/批次(标准间距)

•    150mm 晶圆 50片/批次(标准间距)

•    100mm 晶圆 75片/批次(标准间距)

•    非标准晶圆类基底(使用定制夹具)


工艺温度

•    50 – 450°C


标准工艺

•   批量生产的平均工艺时间小于10秒/循环*

•   Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各种金属

•    同一批次薄膜不均匀性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**


基片装载

•    立式半自动装载(一或两个cassette位置)

•    装载室加热功能可选


前驱体

•    液态、固态、气态、臭氧源

•    源瓶余量传感器, 提供清洗和装源服务

•     4根独立源管线, 最多加载8个前驱体源

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