SEM/TEM喷金喷碳仪---6000用户信赖，全进口高性能，镀膜效果业内
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英国cressington中国区总代理
英国Cressington Scientific Instruments Ltd是业内 的电镜，电子探针及电极薄膜制备配套的高性能真空镀膜仪方案的者，自上世纪六十年代开始，伴随着商业扫描电镜的普及和电极镀膜制备的需求，Cressington的配套镀膜设备也一并研发和配套使用，并始终获得科研工作。
型号丰富支持个性定制：
208HR High Resolution SPUTTER COATER超高分辨离子溅射镀膜仪
108/108A CRESSINGTON SPUTTER COATER高性能离子溅射镀膜仪
108C CRESSINGTON CARBON EVAPORATOR全自动高真空镀碳仪
- 208C High Vacuum Turbo CARBON COATER分子泵超高真空镀碳仪
• 磁控冷态喷镀
冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管"没有等离子体电流在样品, 避免样品受到热损伤，对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合;
•广泛的镀层靶材选择
特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择;
• 全自动化设计
自动的换气与泄气功能，溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀一致的膜厚，和 的导电喷镀效果;
• 超高精度膜厚监控设计
标配MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果;
• 多用途样品托设计
独立的旋转, 水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜;
• 可变的样品室几何设计
为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0nm每秒到0.002nm每秒;
• 广泛的操作气体压力
独立的电压, 电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度.
Specification技术规格：
样品仓尺寸 | 150mm 直径, 可调高度: 165mm - 250mm, 高强度不锈钢结构 |
溅射管头 | 低电压平面磁控管, 靶材更换快速, 环绕暗区护罩 |
溅镀优点 | 基于微处理器反馈控制, 远程电流/电压感应; 提供真空安全联锁装置, 180A, 配有过流保护, 数字化可选电流（ 80mA） |
喷镀靶材 | Cr, Pt/Pd, Pt, Au, Au/Pd, Cu, Ni, Pd, Pt, Ta, Ti, W等 |
样品台 | 可放置12个标准电镜样品座, 0到90度倾斜可调的旋转水平样品台 |
真空系统 | 标配无油分子泵真空, 极限真空优于10-6 mbar,附带减震台的桌面式真空泵设计, 全金属耦合系统 |
控制方式 | 自动喷镀, 自动卸真空自动进气功能, 使用可编程电压控制和计时数字计时以及暂停设计, 全自动真空监测系统 |
膜厚监控仪 | 6MHZ晶体监探器, 每秒5次实时监控, 分辨率:优于0.1纳米 |
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