微量气体分析仪 它是可以对用于半导体工艺的混合气体 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度 （检测感度可至10ppb） 连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。适于半导体气体制造设备的质量管理 。