VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
| 功能特点 |
|---|
- 真空吸附方式固定样件，操作简便。
- 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
- 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
- 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
- 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
- 真空度大可以达到-0.08MPa。
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 设备配有进出水口 | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 不需要 | ||
| 工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通风装置 | 需要 | ||
| 电机功率 | 350W | ||
| 速度范围 | 500rpm-10000rpm | ||
| 程序运行 | 可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段 | ||
| 增减速率设置范围 | 100rpm/s-2000rpm/s | ||
| 时间范围 | 0-60s | ||
| 吸盘 | Ø19mm、Ø60mm | ||
| 本机可选配加热功能 | ● 加温范围RT-150℃； ● 加热盖，水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟； ● 温度单独控制，与主机程序控制无关联； | ||
| 尺寸 | 450mm×280mm×340mm | ||
| 重量 | 20kg | ||
| 可选配件 | 过滤器（真空泵用） | ||
| 标准配件 | 1 | 真空吸盘（含O型圈） | 2个 |
| 2 | 中心定位器（含4个定位柱） | 1个 | |
| 3 | 滴胶注射器（20ml） | 1个 | |
| 4 | 注射器支架 | 1个 | |
| 5 | 无油真空泵 | 1台 | |
| 6 | 橡胶管（含卡箍） | 1根 | |
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