OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5"x5"，并且顶部载样台可旋转，提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池，如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。
| 功能特点 |
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- 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温
- 大升温速率为10℃/s
- 大温度可达800℃
- 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制
- 顶部载样台可旋转，转速可调：1-7rpm
| 技术参数 | |
|---|---|
| 工作电压 | AC 220V, 50/60Hz （需要50A的空气开关） |
| 真空法兰 | 真空法兰为316不锈钢制作 顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）： • 一机械压力表 • 一KF16接口，可以安装防腐真空计 • 两个不锈钢精密针阀用于气体的进出 • 底部法兰： • 一KF25接口，可以与真空泵相连接 • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封： • 真空度：20Pa（机械泵） • 真空度：10-1 Pa（分子泵） |
| 加热元件和载样台 | 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制），调节范围为：2-50mm 顶部载样台可旋转（触摸屏控制），转速：1-7rpm 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不 锈钢壳体采用316不锈钢制作） 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性 注：可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料，提高温度均匀性
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| 温控系统 | 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护 PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中 |
| 工作温度 | MAX工作温度为：800℃ 两个加热区之间的大温差为300℃ |
| 加热和冷却速率 | 建议加热速率≤ 10ºC/s（每个温区单独加热） 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC) |
| 热电偶 | 两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触 |
| 可选 | 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（58L/min) 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵 可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
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| 质保 | 一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管） |
| 产品尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm |
| 使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司 选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品 加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防 意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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