紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
| 技术参数 | |
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| 主要参数 |
● 功率：大350W ● AC 208~240V，单相 50/60Hz
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| 应用 |
● 去除分子级别的污染物 ● 紫外光固化粘合剂 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蚀 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
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| 紫外灯 |
● 可发出双波长的水银灯 ● 功率：55W ● 发出光的波长：254 nm 和 185 nm ● 使用寿命：2500 小时（可更换） ● 照射区域：200 x 200 mm
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| 腔体&样品台 |
● 不锈钢壳体 ● 抽屉式样品台，以便放样取样 ● 样品台面积310 mm x 320 mm ● 臭氧通风装置安装在腔体上 ● 样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm（可调） ● 样品台可以加热，MAX温度可达150℃ ● 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ ● 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时
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| 排气口 |
● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端 ● 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外 ● 仪器中不包含橡胶管
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| 环境要求 |
● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内 ● 温度范围：41-104华氏度 ● 大相对湿度80％，大87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度 ● 主电源波动不超过额定电压的10％ ● 污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb
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| 外形尺寸 |
● 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
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| 净重 |
28kg
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| 认证 |
CE认证
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| 质保期 |
● 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ● 点击查看售后服务承诺书。 |
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