带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃，并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场，可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
| 功能特点 |
|---|
- 双层壳体，配有冷系统，炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。
- 内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。
- 一端法兰配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。
- 采用三个独立PID控制器 ，可以设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。
- 已通过CE认证。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
| 水 | 不需要 |
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 |
| 气 | 设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 |
| 工作台 | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 |
| 通风装置 | 需要 |
| 电源 | 单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保险丝） |
| 石英管 | 外径Ø125mm，内径120mm，长1400mm，带有一对真空密封法兰 |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
| 加热区域 | 温区I长229mm，温区II长457mm，温区III长229mm，总长915mm |
| 恒温区域 | 三个温区为同一温度时为625mm，温区II为110mm |
| 工作温度 | 1200℃，连续工作1100℃ |
| 升降温速率 | 20℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 热电偶 | K型 |
| 浮子流量计 | 3个，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min |
| 数字真空计 | 10-4torr |
| 管式炉尺寸 | 1080mm×430mm×600mm |
| 重量 | 70kg |
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