紫外纳米压印光刻机
型号：URE-2000/35NI
紫外纳米压印光刻机
URE-2000/35NI光刻机设备的主要技术特征如下：
光刻机添加纳米压印模块，保留URE-2000/35全部功能，利用其紫外照明进行固化，利用对准显微镜和对准工件台进行对准，低成本实现50nm压印。压印技术采用成熟的紫外固化纳米压印制作工艺。
低成本实现高分辨力纳米图形制作
“按键式"操作模式完成纳米压印工艺
采用高精度视频对准技术实现复杂图形套刻制作（兼容光刻部分）
高精度驱动机构可实现纳米图形多次套刻（兼容光刻部分）
照明技术实现纳米图形精准固化（兼容光刻部分）
压印模块独立设计，可嵌入传统光刻设备实现纳米压印
压印模块兼容性好，可兼容于传统的接近接触式光刻机
设备性能可靠，操作界面友好，可满足客户个性化定制需求
可提供整体式解决方案，用户按照提示即可完成纳米压印工艺