紫外光刻机
型号：URE-2000/17
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（胶厚2μm的正胶）；
对准精度：±1μm
胶厚：
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±5%（Ф100mm 范围）
汞灯功率：200W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点：
采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。