机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·工作台回转式 |
---|---|
回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
测定径 | 内外径都是Φ550mm(※EC5100H的机种) |
积载质量 | 200kg (※EC5100H的机种) |
上下移动量 | 1000mm(使用b触针臂时)(※EC5100H的机种) |
工作台移动范围 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·工作台回转式 |
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回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
测定径 | 内外径都是Φ550mm(※EC5100H的机种) |
积载质量 | 200kg (※EC5100H的机种) |
上下移动量 | 1000mm(使用b触针臂时)(※EC5100H的机种) |
工作台移动范围 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
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