| 工作台尺寸 | Φ160mm调心/调倾斜范圉，士2mm/士1° |
|---|---|
| 机构 · 方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
| 回转精度 | (0.04+0.0006H)um H:工作台面上算起的高度(mm) |
| 测定径 | Φ250mm |
| 上下移动量 | 260mm(使用b触针臂时）测量高度265mm 可粗动or微调整 |
| 装载径/重量 | Φ400mm/20kg |
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| 工作台尺寸 | Φ160mm调心/调倾斜范圉，士2mm/士1° |
|---|---|
| 机构 · 方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
| 回转精度 | (0.04+0.0006H)um H:工作台面上算起的高度(mm) |
| 测定径 | Φ250mm |
| 上下移动量 | 260mm(使用b触针臂时）测量高度265mm 可粗动or微调整 |
| 装载径/重量 | Φ400mm/20kg |
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