PPM 级双柱惰性气体净化器-深圳市科晶智达科技有限公司

GPH-DHDO含有两部分气体净化器（一个用于除氧另一个用于除水），两个净化器用1/4"不锈钢管和两个针阀连接在一起，可以与任何科晶混气系统连接。在室温下，它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如（氮、氦、氖、氩、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm，以及可将H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能，可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生，方便长期循环使用。

性能指标和基本配置
产品特点	● 输入：输入气体纯度要求：<1000 ppm（99.9％） ● 输出：清除杂质至<0.1 ppm（O2≤0.1 ppm H2O，-76℃露点温度）（请点击此处转换湿度单位） ● 304L不锈钢罐（<10 Ra EP） ● 3再生操作简单方便 ● 内置数字温度控制器和气体流量计控制 ● 再生后可净化多达80L惰性气体 ● 设备需在270℃下再生（需使用5N纯度的95％N2 + 5％H2气体）
电源	● 220v 50Hz ● 功率：500W（加热过程中）
压力输出	0.5MPa
工作温度	室温-300℃
气体泄漏率	<2 x 10-9 atm cc/sec He
温度控制器	控温精度±1 ºC
气流	400mL/min
外形尺寸	445mm L X 400mm W X 190mm H
质量认证	CE认证
使用提示	● 您可以选购精密质子流量计，输入气体更加准确（图一） ● 此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接（图二）图一图二
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
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