GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统,PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线,可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
性能指标和基本配置 | |
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基本参数 | ● 工作温度:5~45ºC ● 压力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: ● 一路:1-99 SCCM ● 二路:1-199 SCCM (其他流量范围可定制) ● 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用 |
输入电源 | AC 220V,50/60Hz |
功率 | 100W |
PLC触摸屏 | 各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上 |
混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气 |
机械压力表 | ● 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接 |
针阀 | 316 不锈钢 |
通气管道 | ● 内部连接管道为1/4"不锈钢管 |
混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气 |
机械压力表 | ● 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接 |
针阀 | 316 不锈钢 |
通气管道 | ● 内部连接管道为1/4"不锈钢管 |
外形尺寸 | 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm |
产品重量 | 8.4kg |
相关产品 | CVD & PECVD 管式炉 (点击图片查看详细资料) |
质量认证 | CE认证 |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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