ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧，操作方便，可用于气体流量的精确测量和控制，流量范围0~100，200，300，500SCCM可选，可与本公司管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用，直接数字设定流量，稳定可靠，操作方便。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 产品特点 | ● 防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧 |
| 工作电源 | ● AC220V，50/60Hz，7.5W |
| 流量范围 | 0~100,200,300,500SCCM四种规格可选，特殊规格可定制 |
| 材质 | 316不锈钢阀体，耐腐蚀 |
| 准确度 | ±2%FS |
| 控制精度 | ±1%FS（恒流） |
| 线性 | ±2%FS |
| 工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
| 工作压力 | 0.5MPa |
| 设定流量方式 | 键入式 |
| 进出口阀门 | Φ6.35mm卡套式接头 |
| 工作环境温度 | -10~50℃ |
| 产品尺寸 | 168mm L*30mm W*132mm H |
| 产品重量 | 0.92kg |
| 使用注意事项 | ● ZF-MFC-1C可用于腐蚀性气体的流量测量与控制，如NH3等 |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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