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集团上海工程技术有限公司
紫外纳米压印光刻机型号:URE-2000/35NI主要技术指标:曝光面积:100mm×100mm分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)对准精度:±0.8μm胶厚:300μm(SU8胶)掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)对比
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