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灰分坩埚的使用寿命短是什么原因

2022年11月01日 18:09:02      来源:天津欧捷科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:29

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   灰分坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明灰分坩埚是拉制大直径单晶硅,是发展大规模集成电路的基础材料。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
 
  灰分坩埚的使用寿命很短,一般为75天左右,造成这一结果的原因是什么呢?新电解炉燥是影响灰分坩埚使用寿命的一种原因一般工厂目前电解炉搭建主要才料为耐火砖块和冷捣素。 
 
  灰分坩埚与内胆间全部用冷捣素充填夯实,新炉搭建好后用打弧机打弧燥,靶材干燥时间一般为8-12小时,其间石墨坩埚长时间高温暴露在空气中,在强电弧光的辐射下,石墨坩埚内壁有4-6MM厚的石墨剥落,对灰分坩埚内壁损伤较为严重。建议改用石坐坩埚密封,二氧化碳气体保护,铁烙铝加热干燥坩埚。 
 
  在使用由石墨构成的石墨电极、石墨模具和石墨坩埚等材料时,要尽量避免高温。 
 
  含碳(石墨)耐火材料石墨坩埚经烘烤后一般表面产生15mm以上的脱碳疏松层,靶材脱碳层在盛钢后很快侵蚀掉。钢厂的石墨电极损耗要占到钢厂生产成本地十分之一以上,在高温氧化实验室看到,一个3公斤的灰分坩埚在高温1600℃持续3个小时后,重量减轻了30%以上,也就是3公斤的石墨坩埚很快就变成了2公斤,氧化很快。石墨是比较贵重的材料,腐蚀氧化造成企业生产成本加大,能源材料浪费。 
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