在线等离子清洗机等离子清洗在LED封装工艺中的应用

在线等离子清洗机等离子清洗在LED封装工艺中的应用：
        发光二极管 (LED)一般用作指示灯、显示板，它不但能够高效率地直接将电能转化为光能，而且拥有长达数万小时至数十万小时的使用寿命，同时具备不易碎省电等优点。

        但在LED制作过程中存在一些问题：
        (1)LED制作过程中的主要问题难以去除污染物和氧化层。
        (2)支架与胶体结合不够紧密有微小缝隙，时间存放久了之后空气进入至使电极及支架表面氧化造成死灯。
        在LED封装工艺过程中，器件表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品可靠性，影响产品质量。在封装前运用在线等离子清洗机进行清洗处理，可有效去除上述污染物。点银胶前使用在线等离子清洗机可以使工件表面粗糙度及亲水性大大提高，有利于银胶平铺及芯片粘贴同时，可大大节省银胶的使用量降低成本。
        引线键合前进行在线等离子清洗机处理，可显著提高其表面活性，提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。有些情况下，键合的温度也可以降低，提高产量降低成本。在LED注环氧树脂胶过程中，污染物会导致气泡的成泡率偏高。从而导致产品质量及使用寿命低下，所以避免封胶过程中形成气泡同样是人们关注的问题。
        LED封胶前通过等离子清洗机进行表面处理，芯片与基板会更加紧密地和胶体相结合，气泡的形成将大大减少，同时也将显著提高散热率及光的出射率。等离子清洗机的应用原理是通过化学或物理作用，对工件表面进行处理实现分子水平的污染物去除( 一般厚度为3~ 30 nm)，从而提高工件表面活性。被清除的污染物可能有有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等，所以等离子清洗机处理工艺是一种高精密清洗。
        就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：
        (1)无机气体被激发到等离子态；
        (2)气相物质被吸附在固体表面；
        (3)被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；
        (4)产物分子解析形成气相；
        (5)反应残余物脱离表面。
        在线等离子清洗机处理方法是清洗方法中为的剥离式清洗，其优势在于清洗后无废液，特点是对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等原基材料都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
        随着LED产业的飞速发展，在线等离子清洗机凭借其经济有效且无环境污染的特性必将推动LED行业更加快速的发展。