等离子体发生器应用产生等离子体气源有︰空气、O2、AR、氩氢混合气体、四氟化碳

等离子体发生器应用产生等离子体气源有︰空气、O2、AR、氩氢混合气体、四氟化碳：
        在通过等离子体发生器清洗物体前先要对清洗的物体和脏物深入分析，再进行气体的选装。等离子表面处理机中气体通入一般来说有两个目的，依据等离子的作用原理可将选装气体分为两类，一类是H2和O2等反应性气体，这其中H2主要适用于清洗金属表面的氧化物，发生还原反应。等离子体发生器通O2主要适用于清洗物体表面的物质，发生氧化反应。清洗和刻蚀︰例如，在进行清洗时，工作气体往往用O2，它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后，氧化性。工件表面的污染物，如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等，很快就会被氧化成CO2和H2O，而被真空泵抽走，从而达到清洁表面，改善浸润性和粘结性的目的。低温等离子处理仅涉及材料的表面，不会对材料主体的性质产生影响。由于等离子体发生器清洗是在高真空下进行的，所以等离子体中的各种活性离子的自由程很长，他们的穿透和渗透力很强，可以进行复杂结构的处理，包括细管和盲孔。
       另一类是等离子体发生器通AR、He和N2等非反应性气体，真空N2等离子体发生器能提高材料的硬度和耐磨性。氩气和氦气性质稳定，并且放电电压低(ar原子的电离能E为15.57eV)易形成亚稳态的原子，一方面等离子体发生器利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件，Ar+轰击脏物形成挥发性脏物被真空泵抽走，避免了表面材料发生反应;另一方面利用AR易形成亚稳态的原子，再与O2/H2分子碰撞时发生电荷的转换和再结合，形成氧氢活性原子作用于物体表面。
       引入官能基团∶用于高分子材料N2.NH3.02.SO2等气体的等离子体处理可以改变表面的化学成分，引入相应的新官能基∶-NH2.-OH.-COOH.-SO3H等。这些官能团可使聚乙烯，聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙烯等这些惰性的基材变成官能团材料，可以提高表面极性，浸润性，可粘结性，反应性，极大地提高了其使用价值。与氧等离子体相反，而经含氟气体的等离子体发生器处理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有憎水性。