电容式变送器具有可变电容传感组件，称为“δ”腔。 传感器是封闭的组件。 过程压力和压差通过隔离膜片和填充液体硅油传递到传感膜片，引起位移。 电子元件将感测膜片和两个电容器极板之间的电容差转换为（4〜20）mA两线制系统的电信号。 电子放大器电路由解调器，振荡器，振荡控制放大器，电流检测器，电流控制放大器，电流限制控制器，基准电压和稳压器组成。 它们检测电容信号，控制振荡频率，并将其转换为电流输出。

扩散硅压力传送器过程压力通过隔离膜片和密封硅油传递到扩散硅膜片，而参考端的压力（大气压）作用在膜片的另一端。 膜片的两侧之间的压力差因此产生了压力场，该压力场压缩了膜片的一部分。 拉伸另一部分。在压缩区和拉伸区分别有两个应变电阻，以感受由压力引起的电阻值的变化，从而将压力信号转换为电信号。 扩散硅很难在零度以下的低温，85℃以上的高温下正常使用，不适用于20MPa以上的高压。

电容式是利用物理性质，因此主要受制造水平的限制；

扩散硅会利用材料的物理特性，因此会受到材料的极大影响。

扩散硅在数量和价格上都有优势。 然而，由于扩散的硅材料的稳定性的影响，寿命的准确性较差。