超声波清洗机超声能量计
在微电子、半导体等高技术产品的精细清洗过程中，控制在清洗槽中的声能水平是很重要的一环。过高的能量会损坏清洗元件，过低则达不到洗净目的。美国ppb公司自1996年开始生产超声能量计并用于超声清洗过程的控制。
①原理
采用压电晶体接收声能，压电接收器的频率响应在20 kHz到几MHz范围内是乎直的，输出信号为各个谐波的叠加，然后求出复杂波形的有效值(RMS值)，此值用DC输出作数码显示，不是求平均值。
②结构
探头是一种半球形的外壳，材料是乙烯反内烯(EPDM)，窗口透镜用石英做成。在半球壳的45。方向上装有管子，管子材料用316不绣钢，外径6.35mm，508mm长，外包Teflon材料。有接头可与手提仪表连接，也可以直接装在清洗槽的面板上。
③校准
在美国水声校7S系统中进行标定标准探头，然后专门制造带有一个40 kIIz换能器的清洗棺，探头精确固定在槽中的固定位置，将测量探头与标准探头比较，标定读数。
④应用
a．衡量清洗槽中的超声能量密度(w/m2)。因为即使输入换能器的功率不变，但是由于清洗液的蒸气压及化学成分的改变，其空化能量会变化，用此仪器测量的能量包括空化能量。
b．设定清洗槽中的能量水平。
c．在不同超声清洗槽之间建立相同的能量水平
d．测量检查超声清洗槽中的能量分布。
e．可在超声清洗槽中某一固定位置测量能量的平均值、最小值、值及标准偏差，在LCD显则s值(w/m2)，所有数据可以贮存在l00个记忆单元中，然后输出到PC机中处理，可显示频率。
本文作者：常宏药机
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