_适用于大型光学元件的非接触式高精度3D表面形貌检测

泰勒·霍普森Taylor Hobson近日发布LUPHOScan 850 HD非接触式3D光学表面形貌测量系统， 这一新品的推出突破了大型光学计量的极限， 行业内大型复杂光学元件非接触式高精度三维表面形貌检测的空白。

测量原理

LUPHOScan 850 HD以优越的LUPHOScan HD测量平台为基础，采用多波长干涉测量技术。 当光学元件旋转时， 传感器沿着被测件的轮廓移动，对整个面形进行螺旋式扫描。这种技术可以测量非球面、球面、平面、衍射面和自由曲面等任何光学表面形状。 

LUPHOScan HD

LUPHOScan 850 HD的一系列前瞻性**为您提供可以信赖的测量结果。

革ming性的测量能力

被测工件的直径*小可达5mm，*大可达850mm，高度可达210mm,被测工件*大重量可达350Kg。

超高的测量精度

能够**地测量3D表面面形，面形误差的重复性<λ/20（PV99）和 ≤5nm RMS*。

超高的采样点数

高达600万的测量点数， 可以**地测量和分析大尺寸光学元件的中频面形误差。

自由曲面的检测

对自由曲面，圆周*大切向坡度变化可达±8°。（工件陡度可以达到90°）

几乎能测量所有材料

可测量透明、不透明、镜面、抛光或磨光表面。

测量环境条件变化的实时误差补偿

配置四个温度补偿传感器和一个气压测量传感器。

自动调心调平

全自动测量， 提供极为稳定而**的测量结果。

           *随被测件的大小、形状和重量而变化

如需进一步了解LUPHOScan HD系列非接触式产品及应用，请通过下面方式联系我们。

上海浦量元精密机电有限公司

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