如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器mdash，mdash，水冷障板根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。。

防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。真空泵油的使用注意事项1、要根据设备制造商用油规定，选用适当使用性能和粘度等级的真空泵油。2、为保证真空系统的正常工作，在使用及储运过程中要防止污染物如机械杂质及水的进入，以免影响真空油的使用寿命和系统的正常工作。3、残油往往含有大量的污染物和老化产物，会严重地影响新油的使用质量和寿命，因此在换油时，油箱及油路要清洗干净。将新油从泵的吸气口倒入，并用手缓慢地转动泵轴，清扫泵腔并将残油排尽，须重复清洗剂几次。4、不同牌号品种的真空泵油的品质不同，如果混用，可能引起油品质量的变化，因此不同类型的真空泵油不能混用。5、在用于溶剂、水蒸气和有腐蚀性气体时，使用后应勤检查，当油品发生乳化或稀释到影响泵的密封性能时，就应该换油。6、真空泵在使用的时候，在真空泵中易形成冷凝水，水和油混在一起容易使油乳化变质，对真空泵产生损伤。

在吸气口处还安装了真空表和调节真空阀门，可根据需要调整泵的入口压力　　该泵的z*大特点是可获得清洁的粗真空，适用于真空吸附、真空包装、食品加工、卷烟生产等行业。　　XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115。　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵　　　　　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

水环真空泵和其它类型的真空泵相比有如下优点：1.由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。2.吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。3.压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。4.结构简单，制造精度要求不高，容易加工。5.结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。和旋片真空泵相比，他可以抽送带有水蒸气的气体，这是旋片真空泵无法具备的优势，但是水环真空泵用水做密封溶剂，旋片真空泵使用真空油做为溶剂介质，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。。

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

防止的措施有：①使用带有气镇装置的油封机械泵，当泵温为70℃～80℃时，可允许抽除含有水蒸气分压为1times，103Pamdash，4times，103Pa的气体②装油分离器、离心式分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流入泵中使用。③使用吸水性强的干燥剂，如五氧化二磷、三氧化二铝、氯化钙、分子筛等做成捕集阱吸收水蒸气。各种干燥剂性能见表9-6。④使用前级吸附阱，不仅能有效地吸附水蒸气，还可阻挡机械泵油向高真空室的返流。工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。。

5.叶轮或管线受堵，解决方法：检查有无障碍物6.转动方向不对，解决方法：检查转动方向。工作原理：1.s*先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性，则须选用不锈钢材质。若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。2.真空设备或者零部件对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。3.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。

　　3.良好的热氧化安定性　　罗茨泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求罗茨泵油具有良好的热氧化安定性　　4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性　　ZJ型罗茨泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起罗茨泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。　　5.较高的闪点　　主要要求罗茨泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。　　6.较低的极限压力　　极限压力是罗茨泵油重要的使用性能指标以了解在真空极限压力下罗茨泵的极限压力。

罗茨真空泵命名规则和基本参数（摘自ZB/T7674-95），本标准适用于抽速为30L/smdash，20000L/s，工作时必须有前级泵的单级双叶罗茨真空泵1.罗茨泵型号表示方法说明如下：标记示例：（1）抽速为1200L/s的罗茨真空泵，标记为：ZJ-1200。（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-300。2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。