导读：台阶仪又称薄膜测厚仪或段差分析仪，是一种接触式精密量测仪器，主要用来测量微米甚至纳米级别的微观尺寸。面板、光伏、半导体、机械加工等很多产业都使用台阶仪，因此台阶仪也称膜厚仪、薄膜测厚仪和段差分析仪。本文主要介绍台阶仪的工作原理和常用领域。

简单来讲，台阶仪的工作原理是：台阶仪的测针以十分微小的力轻轻划过样品表面，样品表面微米甚至纳米级别的高低起伏通过与测针连接的传感器得到千百万倍的放大，然后被转换成电子信号，输入到电脑软件中，最终以数字和图形的数据形式展现出来，供技术人员查看。

那么，为什么叫台阶仪？为什么还有膜厚仪、薄膜测厚仪和段差分析仪等其他名字？这是因为台阶仪的应用产业不同。面板、光伏、半导体和机械加工产业中，测量样品不同，测量对象也不一样，叫法也有区别。

半导体产业的芯片，和其他产业的一些产品，表面往往有形状不一的凸起（例如电路或电极），它们的高度是有限制的，不然就会影响芯片的性能，例如导电和通讯能力。使用仪器测量之后，结果往往像随处可见的台阶一样，因此测量他们的仪器也叫台阶仪。

面板产业制作的液晶屏幕，例如手机屏，其实分为内外两层，中间夹着一层薄膜，是显示效果的关键；光伏产业的光伏玻璃表面也常常有薄膜，台阶仪可以用来测量这些薄膜的高度，所以行内人也叫它膜厚仪或者薄膜测厚仪。

至于段差分析仪，是因为从专业测量的角度来讲，以上这些所有的测量，都是在测量“段差”（日语，意为“高低的差异”），并且对段差进行数据和图形的分析。所以，段差分析仪是一个更学术的名称，只是和台阶仪、膜厚仪、薄膜测厚仪命名的角度不同。

后期，我们会继续更新台阶仪的结构、使用、各家台阶仪比较等等方面的内容，欢迎持续关注。

日本进口的KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分别对应：学术和科研单位测量，面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪