扩散硅压力变送器的可靠性高,扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化.平均时间长.扩散硅压力传感器的感受\敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,所以不重复性和迟滞误差很小.由于硅材料的刚性好莱坞,形变小,因而传感器的线性也非常好.因此它的精度很高.江苏中能仪表科技有限公司由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在50KC.制造过程采用了集成工艺,膜片的有效面积可以很小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至100千赫兹,因此频响高.它采用了特殊材料和装配工艺,不但可以做到130℃正常使用,在强磁场\高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击压力变送器,因此具有良好的抗点击穿性能.

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